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净化车间中的温湿度要求
净化车间的温湿度主要是依据工艺要求来确定，但在达到工艺要求的条件下，应充分考虑人的感觉。伴随着净化车间空气洁净度等级要求的提升，发生了工艺对温湿度的要求也越来越严的发展趋势。实际工艺对气温的要求以后还需要列举，但做为总的标准看，因为加工精度越来越细致，因此净化车间对溫度变化范畴的要求越来越小。比如在规模性集成电路生产的光刻曝出工艺中，做为掩膜板原材料的夹层玻璃与单晶硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直徑100um的单晶硅片，溫度升高1度，就造成了0.24um线形膨胀，因此务必有±0.1度的控温，与此同时要求环境湿度值一般较低，由于人出汗以后，对商品将有污染，尤其是怕钠的半导体材料车间，这类车间溫度不适合超出25度，环境湿度过高造成的问题更多。净化车间空气湿度超出百分之五十五时，冷却循环水壁厚上面冷凝水，假如发生在高精设备或电源电路中，便会导致多种事故。
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