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无尘净化车间，净化室的温度和湿度记录主要是根据您的生产工艺规定来明确的，在达到生产工艺的情况下，无尘净化车间的选择需要考虑人们的感受。随着空气过滤规定的改进，加工工艺对温度和湿度的需求越来越高，无尘室净化车间需要达到一定的温度和湿度记录水平。
例如，在大规模电子设备制造的光刻技术曝光加工过程中，夹层玻璃与单晶硅片作为掩膜板原料的线膨胀系数之间的差异越来越小。直径100um的单晶硅片温度升高1度，导致0.24um线膨胀。因此，需要0.1度的土壤温度控制。同时，规定环境湿度值一般较低。由于人们出汗后会对商品造成环境污染，特别是对于害怕钠的半导体材料生产车间，这些生产车间不适合超过25度。环境湿度过高造成的问题很多。当空气湿度超过55时，冷却循环水壁厚上的冷凝水。如果出现在准确的设备或线路上，将导致各种事故。空气湿度在50度时容易生锈。
众所周知，对于绝大多数无尘净化车间，为了避免外部环境污染的入侵，内部结构的工作压力（负压）高于外部工作压力（负压）。保持压差一般应符合以下标准：
1.洁净度等级高的室内空间的负担高于邻近洁净度等级低的室内空间。
2.互通净化室中间的安顺门应在洁净度等级高的房间内打开。
3.无尘净化车间的负担高于非无尘净化车间的工作压力。在排气量的帮助下，该排气量应能够补偿这里压差下间隙泄漏的排气量。因此，压差的物理意义是根据净化室各种间隙的摩擦阻力，根据泄漏（或渗透）排气量。
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